在汽車電動(dòng)化、半導(dǎo)體量產(chǎn)化與精密醫(yī)療器械制造快速發(fā)展的當(dāng)下，傳統(tǒng)測(cè)量設(shè)備已難以兼顧微納形貌檢測(cè)、三維尺寸標(biāo)定與缺陷篩查等多元需求。三豐 Hyper QVWLI 606 作為融合影像測(cè)量與白光干涉技術(shù)的復(fù)合型高精度 3D 影像測(cè)量?jī)x，依托光學(xué)干涉、多傳感器協(xié)同與智能算法架構(gòu)，構(gòu)建起一套完整的非接觸式精密測(cè)量體系，廣泛適配多行業(yè)精密工件檢測(cè)場(chǎng)景。本文從設(shè)備核心結(jié)構(gòu)、光學(xué)原理、數(shù)據(jù)處理邏輯及實(shí)際應(yīng)用維度，對(duì)該設(shè)備的技術(shù)體系進(jìn)行深度解析。
Hyper QVWLI 606 屬于 Quick Vision Hyper 系列進(jìn)階機(jī)型，核心設(shè)計(jì)思路是將傳統(tǒng) CNC 影像測(cè)量技術(shù)與白光干涉(WLI)光學(xué)系統(tǒng)深度融合，同時(shí)搭配非接觸式位移傳感器等輔助模塊，形成多傳感融合測(cè)量平臺(tái)。設(shè)備整體采用穩(wěn)定性出色的主體結(jié)構(gòu)，搭配自動(dòng)對(duì)焦、Z 軸追蹤等功能模塊，在保障運(yùn)行平順性的同時(shí)，滿足長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)量產(chǎn)測(cè)量的使用要求。其測(cè)量行程可適配中型精密工件，X、Y、Z 軸的有效測(cè)量范圍能夠覆蓋電機(jī)鐵芯、半導(dǎo)體噴淋頭、內(nèi)窺鏡配件等常規(guī)精密零部件，機(jī)械運(yùn)動(dòng)單元與光學(xué)成像單元經(jīng)過同步調(diào)校，可實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)移動(dòng)與圖像采集的協(xié)同運(yùn)作，為無停頓連續(xù)測(cè)量奠定硬件基礎(chǔ)。
設(shè)備的核心技術(shù)依托白光干涉測(cè)量原理展開，這也是其實(shí)現(xiàn)三維形貌與粗糙度檢測(cè)的關(guān)鍵。白光光源發(fā)出寬光譜光束，經(jīng)由內(nèi)置分光鏡完成光束拆分，一束光線投射至標(biāo)準(zhǔn)參考鏡面形成參考光，另一束光線照射在被測(cè)工件表面形成物光。兩束光線反射后重新交匯，基于光的相干特性生成明暗交替的干涉條紋。由于白光相干長(zhǎng)度較短，僅在兩束光光程差趨近于零時(shí)，干涉條紋的對(duì)比度達(dá)到最優(yōu)狀態(tài)。工件表面的微觀凸起與凹陷會(huì)改變物光的傳播光程，進(jìn)而讓干涉條紋產(chǎn)生位置偏移，條紋的偏移量與工件表面各點(diǎn)位的高度差形成對(duì)應(yīng)關(guān)系。設(shè)備搭載精密 Z 向掃描模塊，沿著縱深方向逐層采集干涉圖像，通過算法捕捉每一個(gè)像素點(diǎn)零級(jí)干涉條紋的位置，將光學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)化為精準(zhǔn)的高度數(shù)據(jù)，最終重構(gòu)出工件完整的三維表面形貌。
除白光干涉系統(tǒng)外，設(shè)備集成的多傳感器協(xié)同架構(gòu)進(jìn)一步拓展了測(cè)量能力。影像測(cè)量單元負(fù)責(zé)完成二維輪廓、孔徑、線寬、線距等常規(guī)尺寸檢測(cè)，依靠高清成像組件與圖像識(shí)別算法，捕捉工件邊緣輪廓并完成尺寸計(jì)算。PFF 非接觸式位移傳感器可針對(duì)復(fù)雜微結(jié)構(gòu)開展三維形狀測(cè)量，彌補(bǔ)單一光學(xué)系統(tǒng)在異形工件檢測(cè)中的不足。多類傳感器數(shù)據(jù)相互補(bǔ)充，既可以完成二維尺寸的快速檢測(cè)，也能實(shí)現(xiàn)三維形貌、截面輪廓、三維粗糙度等微觀參數(shù)分析，打破了傳統(tǒng)影像儀僅能進(jìn)行二維測(cè)量的局限。
在數(shù)據(jù)處理與算法層面，該設(shè)備搭載專屬運(yùn)算程序與缺陷檢查軟件，形成從數(shù)據(jù)采集、運(yùn)算分析到缺陷判定的全流程處理體系。針對(duì)白光干涉采集的三維數(shù)據(jù)，系統(tǒng)可自動(dòng)完成表面形狀擬合、三維粗糙度參數(shù)計(jì)算，同時(shí)按照設(shè)定截取工件任意位置的截面，生成截面輪廓曲線并完成尺寸標(biāo)注。針對(duì)半導(dǎo)體、電子零部件易出現(xiàn)的粉塵、毛刺、缺損等問題，配套的缺陷檢查軟件可在常規(guī)尺寸測(cè)量的基礎(chǔ)上，疊加缺陷識(shí)別功能，依托圖像比對(duì)算法區(qū)分正常區(qū)域與異常區(qū)域，檢出傳統(tǒng)尺寸測(cè)量無法識(shí)別的微觀缺陷。此外，設(shè)備支持 3D CAD 模型在線編程功能，操作人員可導(dǎo)入工件三維模型，系統(tǒng)自動(dòng)生成影像測(cè)量與觸發(fā)式檢測(cè)的運(yùn)行程序，簡(jiǎn)化編程流程，提升設(shè)備整體運(yùn)行效率。
設(shè)備的運(yùn)動(dòng)控制算法同樣保障了量產(chǎn)場(chǎng)景下的測(cè)量效率。其搭載的 STREAM 無停頓測(cè)量功能，讓工作臺(tái)在連續(xù)移動(dòng)狀態(tài)下完成圖像采集與數(shù)據(jù)檢測(cè)，無需頻繁啟停，大幅縮短單件工件的測(cè)量工時(shí)。搭配 TAF 瞬間對(duì)焦與 Z 軸追蹤技術(shù)，設(shè)備可對(duì)處于垂直方向小幅位移的工件邊緣進(jìn)行持續(xù)對(duì)焦與高速測(cè)量，適配自動(dòng)化產(chǎn)線中動(dòng)態(tài)工件的檢測(cè)需求。針對(duì)半導(dǎo)體噴淋頭多孔檢測(cè)、多層基板過孔測(cè)量等批量檢測(cè)場(chǎng)景，無停頓測(cè)量模式可有效提升檢測(cè)節(jié)拍，契合現(xiàn)代化量產(chǎn)工廠的效率要求。
從實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景來看，該復(fù)合型測(cè)量設(shè)備針對(duì)不同行業(yè)特性發(fā)揮差異化技術(shù)優(yōu)勢(shì)。在汽車領(lǐng)域，面對(duì)電動(dòng)汽車電機(jī)鐵芯、電池組件等薄壁、微凹類零部件，非接觸式測(cè)量方式可避免探針接觸造成的工件損傷，同時(shí)精準(zhǔn)捕捉層壓結(jié)構(gòu)、細(xì)微輪廓的尺寸數(shù)據(jù)，結(jié)合設(shè)計(jì)模型完成數(shù)值比對(duì)，助力車企把控零部件品質(zhì)。在半導(dǎo)體行業(yè)，設(shè)備可完成噴淋頭多孔徑測(cè)量、孔內(nèi)異物檢測(cè)、貼片機(jī)位置偏差檢測(cè)等工作，全自動(dòng)化測(cè)量模式可融入半導(dǎo)體量產(chǎn)生產(chǎn)線，依靠高頻次、多元素檢測(cè)方式，提前排查產(chǎn)品隱患，降低不良品流出概率。在醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域，內(nèi)窺鏡部件、微型手術(shù)鉗等工件尺寸微小、形態(tài)復(fù)雜，設(shè)備憑借高倍率光學(xué)組件與多傳感器組合，完成細(xì)微尺寸與三維形貌檢測(cè)，保障醫(yī)療配件的加工精度。
綜合而言，Hyper QVWLI 606 白光干涉復(fù)合型 3D 影像測(cè)量?jī)x，以白光干涉光學(xué)原理為核心，結(jié)合多傳感器融合技術(shù)、智能算法與精密機(jī)械結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了二維尺寸測(cè)量、三維形貌重構(gòu)、粗糙度分析、缺陷檢測(cè)等多項(xiàng)功能一體化。其非接觸式檢測(cè)特性、自動(dòng)化運(yùn)行能力與數(shù)據(jù)處理功能，精準(zhǔn)匹配汽車、半導(dǎo)體、精密醫(yī)療等高端制造行業(yè)的檢測(cè)需求。隨著精密制造技術(shù)持續(xù)升級(jí)，這類融合多種光學(xué)測(cè)量原理的復(fù)合型設(shè)備，也會(huì)成為微納尺度精密檢測(cè)領(lǐng)域的主流發(fā)展方向。
